如何给涡轮分子泵充气振动泵
如何给涡轮分子泵充气?
如何给涡轮分子泵充气? 2011: 如何给涡轮分子泵充气?
(1)为什么要充气?
当涡轮分子泵关闭或运转极慢时,泵将不再有足够大的压缩比(泵内压力梯度)来阻止前级侧存在的碳氢化合物通过涡轮叶片向真空室进行返流。这种现象称作反扩散或分子返流。在静态条件下,整个系统的压力均衡时,在前级管道侧,油的分压力通常为10-4~10-6Torr(或13.33mPa~133.3μPa)最后也会波及到泵的入口处。当泵关闭时,适当地给泵内充气是控制油分子返流,保持真空室内无碳氢化合物的一种有效的措施。 当停泵后,碳氢化合物返流很快通过泵进入真空室内,如果系统仍保持在真空状态下,碳氢化合物将会粘在清洁的叶片和真空室的表面上。在随后再运转该系统时,将极难抽除粘着的碳氢化合物。另一方面,在涡轮分子泵停止运转时,如果给泵充入干燥氮气或干燥空气,则该干燥气体将给暴露的表面提供一层气体保护层,而且在系统充气后,返流的碳氢化合物由于与充入的气体混合起来,从而它的粘着能力很弱,在混合气体中碳氢化合物所占比例极小,在下一次抽空时也很快就能被抽走。
(2)延迟充气:
虽然在泵断开电源后就应给泵充气已被大家所接受,且很平常,但是,涡轮分子泵在切断电源后,泵要渐渐地减速,若延迟几秒或几分钟再充气会更好一些。在泵减速到它平时速度的30%~50%期间,此时泵仍能起到抽气和压缩作用。能有效地使真空室处在真空状态下且能防止碳氢化合物的返流。延迟充气也能使阀门有足够的时间关闭,在经常停电的情况下,延迟充气是很有用的。为了延迟充气,前级真空必须维持在1~1000μmHg(1×10-3mmHg~1mmHg或133.3mPa~133.3Pa)范围之内,所以在涡轮分子泵与前级泵之间必须有一个真空阀,或者在前级泵内部装一个控制阀,该阀应在电源中断时,使涡轮分子泵与前级泵隔离开来。否则,通过前级泵、前级管道被充气,并导致了油的污染。
(3)在何处充气?
在涡轮分子泵的前级侧充气,能强制使碳氢化合物立刻通过涡轮分子泵流入真空室。另一方面,若在涡轮分子泵吸入侧充气,能达到以清洁气体覆盖表面的目的。并使气流流向涡轮分子泵(自上而下),能暂时阻止、延迟碳氢化合物的返流,也有些涡轮分子泵在压缩级之间进行中间充气,它和在吸入侧充气控制碳氢化合物返流几乎同样有效。在超高真空系统中,在压缩级充气尤其优越。因为中间充气不需要价格昂贵的金属密封的可烘烤的充气阀。
(4)怎样充气?
如果涡轮分子泵置于一个清洁、干燥的周围环境中,就可以充室内的空气。然而充气入口的位置必须仔细选择。如果充气入口位置靠近油封式旋片泵的排气口位置之上,则充入的气体中会含有油蒸汽势必会对真空系统造成污染,而且如果空气是湿的,为了减少以后再抽气的时间,于是要充入干燥氮气或经过干燥器过滤的空气。另外也不一定总是充入大气压力下的气体,若充入气体的压力为几Torr(几hpa)的干燥气体就足以能控制碳氢化合物的返流。
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